KINNEY KC和KTC型双级滑阀真空泵
KC和KTC型滑阀泵是机械式真空泵中可获得压力的泵,推荐应用于工作压力低于0.1Torr(0.13mbar)的工况。
由于滑阀与泵腔之间充满了油而且没有金属与金属间的接触,该系列双级泵特别的可靠和经久耐用。除了KTC-112泵是水冷系统(风冷系统供选择),其它型号的KC和KTC泵都是风冷系统。
标准产品都配置可调式气镇阀,可以处理含水蒸气或其他蒸气的介质。
KTC泵三联滑阀设计确保泵自身动态平衡,事实也证明该泵在运行中没有振动。
典型应用:
制冷系统排气
液态气体储存
制动液加液系统
低压化学蒸气沉积(LPCVD)
硅晶生长
泄露检测
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